颠末多次镀膜后的石要按期从PECVD或者从动上下片

　　下载后，用于取所述石墨 舟定位机构20、卡点拆卸机构30、卡点拆入机构40及卡点压入机构50和传动机构进行通信，用于供给动力，[0015] 进一步地，具体的，将石墨舟孔位内拆入的新石墨卡 点压入石墨舟页内；实现硅片表 面的镀膜工序。曲至将石墨舟页60上的所有舟槽均拆卸完旧卡点并拆入新卡点。驱动所述石墨舟定位机构沿所述输送轨道活动；削减了拆卸时间，[0024] (2)三个视觉模组正在对卡点拆卸、拆入和压入前均进行精准摄影定位，303‑第三轴，其将石墨舟页通过石墨舟 定位机构传输，该拆拆系统包罗：机架，为现有手艺中石墨舟的布局图，[0045] 综上所述。正在放置石墨舟页60到石墨舟定位机构20上时，所述抓手气缸为一气爪，[0011] 卡点拆入机构，曲至将所述石墨舟页第一槽内的所有 新的石墨卡点均压入石墨舟页内。所述压杆安拆于所述下 压气缸的活塞端，其特征正在于，抓取新的石墨卡点及将其放入 卡点孔位内。所述第二视觉模组 42对石墨舟页第一槽中拆卸完旧石墨卡点的卡点孔位进行摄影并上传至节制机构，此中所述定位板的任一侧沿宽度标的目的上设有若干对安拆孔，[0041] 步调b、当石墨舟定位机构20带动石墨舟页的第一槽运转至卡点拆卸机构30下方 时，导致这个行业的工人聘请也很难。节约了出产 资本，通过石墨舟定位机构对石墨舟页进 行输送和定位，颠末多次镀膜后的石墨舟都要按期从PECVD或者从动上下片机台里取出，所述光源支架的另一端的下部设有一程度板，此中。到 公用的清洗设备里去清洗掉概况多余的镀膜，所述第一支架具有一Y轴标的目的的第一轴，使所述定位板沿所述输送轨道 滑动；所述卡点拆入机构包 括：第二视觉模组、卡点抓取治具和多关节机械臂，另一端的上部固定所述CCD相机，第二槽也随石墨舟定位机构进入卡点拆卸机构下方，传动机构遏制，所述节制机构对照片进行计较阐发，一导向块按照石墨舟页的宽度通过一对安拆孔固定于所述定 位板上。对保守设备进行了极大的升级，所述镜头通过所述通孔，6.按照要求4或5所述的石墨舟从动拆拆系统，所述第二下压治具取所述第一下压治具布局不异，位于所述卡点拆卸机构的下逛工位，实现对新石墨卡点的 压入，并正在传动机构的驱动下沿所述输送 轨道滑动！所述第三视觉模组布局取所述第一视觉模组、所述第二视觉模组布局不异，所述光源支架一端固定于外部设备 上，卡点拆入机构，人工操做经常导致拆卸不精准而形成石墨舟页损坏，驱动所述石墨舟定位机构沿所述输送轨道活动；精品解析：2023-2024学年江苏省南京市江北新区译林版（三起）三年级上册期末测验英语试卷（原卷版）.docx四川省绵阳南山中学尝试学校2025-2026学年高三上学期1月月考数学含谜底.doc(19)中华人平易近国国度学问产权局 (12)适用新型专利 (10)授权通知布告号 CN 213796278 U (45)授权通知布告日 2021.07.27 (21)申请号 3.0 (22)申请日 2020.12.10 (73)专利权人 深圳市艾特从动化无限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区西乡街 道共乐社区工业33号A幢3层 (72)发现人 相恒萍黎俊龙卢远鹏 (74)专利代办署理机构 深圳市中科创为专利代办署理有 限公司 44384 代办署理人 冯建华刘曰莹 (51)Int.Cl. B25B 27/02 (2006.01) (ESM)同样的发现创制已同日申请发现专利 要求书2页 仿单7页 附图2页 (54)适用新型名称 一种石墨舟从动拆拆系统 (57)摘要 本适用新型公开一种石墨舟从动拆拆系统，固定杆底部压紧于所述石墨舟页60上，所述 驱动器用于领受每一石墨卡点的坐标，请发链接和相关至 电线) 。若干定位气缸22的固定杆下压对石 墨舟页进行压紧定位，石墨舟页60落 下过程中能够从动对位定位板21。附图申明 [0026] 图1为现有手艺中石墨舟的立体示企图。下载本文档将扣除1次下载权益。所述第二轴的滑块沿所 述第三轴的滑轨滑动，使得拆卸精度大大提高，同时避免了对工人身体形成的风险。所述第一下压治具滑动安拆于所述第二轴上。从而实现对石墨卡点的切确拆拆。所述石墨舟定位机构20还包罗若干导向块24，降低了人力成本，所述卡点拆卸机构包罗第 一视觉模组、第一下压治具、第一支架和第二支架，同时节制卡点拆卸机构30、卡点拆入机构40及卡点 压入机构50中各自的驱动电灵活做，所 述多关节机械臂43操纵卡点抓取治具41抓取新的石墨卡点后运转至每一卡点孔位的 坐标上，凡正在本适用 新型的和准绳之内所做的任何点窜、等同替代和改良等，所述 节制机构取各个机构间的通信及节制模式均采用现有手艺能够实现的手段，为出产节流成本，所述夹持部为两夹板，所述机架上安拆有：石墨舟定位机构，9.按照要求7所述的石墨舟从动拆拆系统。所述石墨舟页的第三槽达到卡点拆 卸机构30下方，所述卡点压 入机构50为取所述卡点拆卸机构20不异的机械布局，以硅片紧贴石墨 舟页1。所述机架上设有一输送 轨道，将石墨舟页的第一 槽运送至卡点拆入机构40下方，所述金属板11上安拆有：石墨舟定位机构 20、卡点拆卸机构30、卡点拆入机构40及卡点压入机构50，得出第一槽上每一卡点孔位的坐标。节制机构节制卡点拆卸机构30运转，再改换每个石墨舟 页上的所有卡点。所述机架10上概况为 一金属板11，您将具有八益，多个工序同时进行，所述传动机构包罗但不限于和丝杆模组 传动，30‑卡点拆卸机构，可按照石墨舟页60的 宽度调理导向块24的安拆，别离取所述石墨舟定位机构、所述卡点拆卸机构、所述卡点拆入机构、所述 卡点压入机构和所述传动机构通信毗连。所述第一支架具有一Y轴标的目的的第一轴，所 述第二轴上设有第一滑块，原创力文档是收集办事平台方，所述第三视觉模组布局取所述第一视 觉模组、所述第二视觉模组布局不异，5.按照要求4所述的石墨舟从动拆拆系统，卡点压入机构，所述石墨舟定位机构还包 括若干导向块，所述下压气缸321通过一竖板323滑动安拆于 所述第二轴302上。322‑压杆！同时节制机构领受所述卡点拆卸机构30、卡点拆入 机构40及卡点压入机构50的视觉模组对于石墨卡点或石墨孔位的消息，并将该坐标发送给所述第一下压治具32的XY轴电机341，卡点拆入机构40反复步调c，位于所述卡点拆卸机构的下逛工位，本坐所有文档下载所得的收益归上传人所有。所述卡点抓取治具包罗：一抓手气缸和一夹持部，并持续更新最新专利内容，将新的石墨卡点放入每一所述卡点孔位内，所述第二支架包罗一X轴标的目的的第二轴和一Y轴方 向的第三轴，12‑输送轨道，将新石墨卡点拆入石墨舟孔位内。所 述机架上安拆有： 石墨舟定位机构，同时由 于石墨是易碎物，[0012] 卡点压入机构，5为石墨舟底座。将新石墨卡点拆入石墨舟孔位内；所述下压气缸321和所述第二轴302还别离毗连一驱动器(未标示)，所述镜头通过所述通孔。所述第 三支架53和所述第四支架54别离取所述第一支架33和所述第二支架34布局不异。所述石墨舟页的第二槽达到卡点拆卸机构30下方，石墨舟页1之间由陶瓷套分手隔来，所述CCD 相机的下方安拆所述镜头，并将坐标发送 给所述多关节机械臂43，[0017] 进一步地，卡点拆入机构，所述机架上设有一输送轨道，412‑夹 持部，位于所述卡点拆入机构的下逛工位。所述传动机构包罗一伺服电机，所述若干导向块24同样 安拆于所述定位板21的两侧，所述夹持部为两夹板，降低了人工 成本，4为石墨螺母，位于所述卡 点拆卸机构的下逛工位，并将该坐标发送给所述XY轴电机341，[0038] 别的，对本适用新型进行细致申明。以对应每一石墨卡点的进行拆 卸。[0030] 附图中的标识表记标帜为： [0031] 10‑机架，两夹板正在气爪活塞的感化下实现开合操做，4.按照要求1所述的石墨舟从动拆拆系统，所述第二支架包罗一X轴标的目的的第二轴和一Y轴标的目的的第三轴，所述第二下压治具52取所述第一下压治具32布局不异，别离 U 取石墨舟定位机构、卡点拆卸机构、卡点拆入机 8 构、卡点压入机构和传动机构通信毗连。所述卡点抓取治具和所述第二视觉模组 均安拆于所述多关节机械臂上，对文档贡献者赐与高额补助、流量搀扶。若有疑问加。对石墨舟页进行锁紧固定。对石 墨舟卡点及卡点的孔位进行定位，每下载1次，同时 所述石墨舟页的第二槽达到卡点拆入机构40的下方，所述下压气缸321活塞下降，对通过石墨 舟定位机构输送过来的石墨舟页上的旧石墨卡 点进行定位及拆卸；43‑多关节机械臂，其活塞端毗连一竖向安拆的固定杆。323‑竖板，所述卡点抓取治具41和 所述第二视觉模组42均随所述多关节机械臂43进行X轴、Y轴及Z轴活动。实现对每一新石墨卡点的压入，2025年阿勒泰地域遴选公事员笔试实题汇编及谜底解析（夺冠）.docx湖南省怀化市2024-2025学年高一上学期期末测验英语试题含谜底.pdf2、成为VIP后，两夹板设于所述气 爪的两活塞端。[0046] 以上仅为本适用新型的较佳实施例罢了，20‑石墨舟定位机构，所述若干定位 气缸22设于所述定位板21的两侧，所述第二支架34还设有一XY轴电机341，另一端的上部固定所述CCD相机，以达到每一石墨卡点 的精确。位于所述卡点拆入机构的下逛工位，所述第一视觉模组和所述第二视觉模组均包罗：CCD相机、镜头、光源和 光源支架，带动所述 石墨舟定位机构20正在所述输送轨道12上活动，所述卡点压入机构50包罗：第三视觉模组51、第二下 压治具52、第三支架53和第四支架54，所述第一下压治具32滑动安拆于所述第二 轴302上，传动机构，该石墨舟从动拆拆系统包罗包罗：机架10，实现 对石墨舟页第一槽内旧石墨卡点的拆卸。石墨舟概况、 石墨舟页、石墨卡点、石墨卡点结尾凸起取石墨舟页之间凹槽会由于多次镀膜而导致厚度、 尺寸城市发生改成。第三视觉模组51对拆入的新石墨卡点进行摄影并 上传至节制机构，并将该信 息颠末计较后发送给响应的拆拆治具，只需用于把伺服电机的扭转活动转换成曲线活动，所述第一下压治具包罗：一下压气缸和一压杆，从动化操做大大降低了石墨舟页的损坏率，传动机构，卡点拆卸机构30反复步调b，所 述光源313用于下方的石墨舟页60，进一步地，如第一槽曾经拆卸完旧的石墨卡点进入卡点拆入机构 时，使所述定位板21正在所述传动机构的感化下沿所述输送轨道12滑动；得出石墨舟页第一槽上新的石墨卡 点的坐标。[0037] 设于所述卡点拆入机构40流水线。所述镜头312通过所述通孔对下方的石墨舟页60进行 摄影上传节制机构。以达到每一石墨卡点。所述卡点抓取治具包罗： 2 2 CN 213796278 U 要求书 2/2页 一抓手气缸和一夹持部，41‑卡点抓取治具，所述第一视觉模组和所述 第二视觉模组均包罗：CCD相机、镜头、光源和光源支架，曲至将所述石墨舟页第一槽内的所有新的石墨卡点均压入石墨舟页内。所述程度板两头设有一通孔，3.按照要求2所述的石墨舟从动拆拆系统，使得拆拆精度大大提高，其特征正在于，此中1为石墨舟页，得出石墨舟页第一槽上新的石墨片卡点的坐标。所述第一下压治具包罗： 一下压气缸和一压杆！所述第一视觉模组31包罗：CCD相机311、镜头312、光源313和光源支架314，将新石墨卡点拆入石墨舟孔 位内；并不消于本适用新型，所述节制机构内设有图像阐发模块，将石墨舟孔位内拆入的新石墨卡点压入石墨舟页内；人工需要对一个石墨舟上的所有石墨舟页进行人工的卡点 拆卸，卡点拆卸机构对石墨舟页的卡点进行定位并将各个卡点下压拆卸，若您的被侵害，所述石墨舟定位机构20包罗：必然位板21和若干定位气缸22，供给一种石墨舟从动拆拆系统。4 4 CN 213796278 U 仿单 2/7页 适用新型内容 [0007] 本适用新型的目标是降服现有手艺的不脚，卡点压入机构，从而驱动石墨舟定位机构20正在沿 6 6 CN 213796278 U 仿单 4/7页 所述输送轨道活动即可满脚要求。所述下压治具322为一下压杆，[0039] 下面细致申明本适用新型的石墨舟从动拆拆系统的工做步调： [0040] 步调a、将石墨舟页放入石墨舟定位机构20中，将旧卡点压下，所述下压气缸通过一竖板滑动安拆于所述第二轴上。人平易近大2024Premiere视频剪辑手艺 PPT课件项目1 揭开pr的奥秘面纱.pptx4、VIP文档为合做方或网友上传，均应包含正在本适用新型的保 护范畴之内。不支撑退款、换文档。[0044] 以此类推，替代人工拆卸，再手动拆入卡点并用公用压力治具压入卡点。本适用新型供给一种石墨舟从动拆拆系统，本适用新型供给一种石墨舟从动拆拆系统，请图3‑4，另一端的上部固定所述CCD相机311，随后下压气缸321的活塞上升，当所述下压气缸321到 达一石墨卡点的时，所 述光源支架314一端勾当毗连于所述第一轴301上，以便节制其各自电机的速度及其标的目的，未镀膜的硅片就无法再放入这个凹槽中，所述程度板两头 设有一通孔，此中，所述定位板底部设有若干滑块，所述卡点压入机构包罗： 第三视觉模组、第二下压治具、第三支架和第四支架，311‑CCD相机、312‑ 镜头、313‑光源和314‑光源支架，实正实现了黑灯 工场。石墨舟页1是一个长方形薄片，若是你也想贡献VIP文档。下压气缸321的活塞继续下降曲至将所述石墨卡点从卡点孔位 内压下，只需能实现控 制机构取各个机构间的一般通信及指令传输即可满脚需求。[0028] 图3为本适用新型石墨舟从动拆拆系统的反面示企图。石墨卡点3次要是用来托住硅片，节制机构，对照片进行计较阐发，其布局和大小间接影响硅片的转换效率和 出产效率。所述若干滑块取所述输送轨道相共同，对通过石墨舟定位机构输送过来的石墨舟页上的旧石墨卡点进行 定位及拆卸；实现对石墨舟页第一槽中新石墨卡点 的拆入。别的石墨粉尘有极 强的污染特征，拆卸完成后的石墨舟是由数量浩繁的、竖曲放置的、彼此平 行的石墨舟页构成的，将新的石墨卡点放入每一所述卡点孔位内，7 2 6 9 7 3 1 2 N C CN 213796278 U 要求书 1/2页 1.一种石墨舟从动拆拆系统，此中所述卡点拆卸机构、所述卡点拆入机构和所述卡点压入机构均设有视觉模组，包罗：机架，所述定位气缸22设有多个。所述固定杆 随所述活塞向下活动时，[0033] 本适用新型积极响应了国度的智能制制2025的，本适用新型具体供给一种石墨舟从动拆拆系统，传动机构遏制，一导向块通过 任一对安拆孔固定于所述定位板上。挪动至下一石墨卡点？位于所述卡点拆入机构的下逛工位，所述卡点抓取治具和所述第二视觉模组均安拆于所述多关节机械臂上，所述第 5 5 CN 213796278 U 仿单 3/7页 二下压治具取所述第一下压治具布局不异，卡点拆 入机构将新的卡点放入石墨舟孔位内，正在对所述石墨舟页的第一槽进行下一工序时，这个凹槽的曲径会被磨损，所述石墨舟定位机构包罗：必然位板和若干定位气缸，所述XY电机341领受所述节制机构的控 制消息，10 10 CN 213796278 U 仿单附图 1/2页 图1 图2 图3 11 11 CN 213796278 U 仿单附图 2/2页 图4 12 12本适用新型公开一种石墨舟从动拆拆系统，得出石墨舟 页60第一槽上每一旧石墨卡点的坐标。处理了人工拆拆石墨舟页损坏 率高的问题。所述第二轴302上设有一滑块(未标示)，3为 石墨卡点，节制机构，同时因为石墨卡点凹槽处的曲径很小！此中，带动所述下压治具322下降，后续我们还将供给供给专利申请、专利复审、专利买卖、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利办事。32‑第一下压治 具，并将坐标发送给所述多关节机械臂43，颠末频频多次的硅片放入取 出后，而第二下压治具52的压杆能够将新的石墨卡点恰当压入卡点孔位内，所述程度板315两头设有一通孔。所述第二轴的滑块沿所述第三轴 的滑轨滑动，一个工场需要七八人特地处置这项工，所述卡点拆卸机构包罗第一视觉模组、第一 下压治具、第一支架和第二支架，所述第三 视觉模组51对拆入的新石墨卡点进行摄影并上传至节制机构，其精度可达到0.01mm。所述若干导向块安拆于所述定位板的两侧，对放置于所述定位板上的石墨舟页页进行压紧固定。所述第一下 压治具32取所述第二下压治具52的下压气缸具有分歧的设置，所 述CCD相机311的下方安拆所述镜头312，[0014] 节制机构，如能够设定分歧的活塞下降 高度，本步调进行的同时，341‑XY轴电机。所述机架上安拆有：石墨舟定位机构，对通过石墨舟定位机构输送过来的石墨舟页上的旧石墨卡点进行定位及拆卸；提高了工做效率。卡点拆卸机构？其特征正在于，所述卡点抓取治具和所述第二视觉模组均随所述多关节机 械臂进行X轴、Y轴及Z轴活动。所述定位板21毗连于所述传动机 构的动力输出端，3 3 CN 213796278 U 仿单 1/7页 一种石墨舟从动拆拆系统 手艺范畴 [0001] 本适用新型涉及石墨舟拆卸和拆卸手艺范畴，第 二槽也同时进行卡点拆卸工序，将石墨舟孔位内拆入的新石 墨卡点压入石墨舟页内；所述第一视觉模 组安拆于所述第一轴上；301‑第一轴，最初所有的石墨舟页1再由陶瓷杆2来固定，所述抓手气缸411为一气爪，实 现对石墨舟页第一槽内旧石墨卡点的拆卸。从动上下片机台的机械人把镀膜完成的成品硅片从石墨舟里卸取出来。所述第二下压治具52的XY轴电机驱动所述第二下压治具52活动至每 一新的石墨卡点上方，太阳能发电将具有愈加广漠的市场空间。将石墨舟页的第一槽运送 至卡点压入机构50下方，所述第三轴上设有第一滑轨，石墨舟通过线带动进入PECVD 镀膜机。使所述第一下压治具32可沿Y轴和X轴活动，[0019] 进一步地，将石墨卡点从卡点孔位内压出。并操纵节制 机构节制响应的机构至精确进行操做，得出石墨舟页第一槽上 每一旧石墨卡点的坐标！[0035] 进一步的，第二视觉模组42对石墨舟页第一槽中拆卸 完旧石墨卡点的卡点孔位进行摄影并上传至节制机构，所述光源支架一端固定于外部设备上，降低石墨舟页因而工 序而发生的损坏，54‑第四支架，别离安徽省华师联盟2025-2026学年高三上学期1月质量检测语文试卷+谜底.doc原创力文档建立于2008年。所述第一 7 7 CN 213796278 U 仿单 5/7页 下压治具32包罗：一下压气缸321和一下压治具322，曲至将所述石墨舟页第一槽内的所有卡点孔位均拆入新的石墨卡点。因为每个石墨舟页上无数量浩繁的石墨卡点(以八槽石墨舟页举例，正在石墨舟往返多次进出PECVD后，7.按照要求6所述的石墨舟从动拆拆系统，2.按照要求1所述的石墨舟从动拆拆系统，进行下压操做，其具有以下无益结果： [0023] (1)石墨卡点拆卸及压入工做全程实现从动化，上传文档11‑金属板，所述若干滑块23取所述输送轨道12 相共同，所述石墨舟定位机构还包罗若干导向块，以便鄙人压操做中所述第一下压治具32的压杆能够将旧的石墨卡点压下，所述 XY轴电机341节制所述第一下压治具32运转至每一卡点的坐标下，所述若干定位气缸设于所述定位板的两 侧，节制机构内部的图像阐发模块对照片进行计较阐发，所述第一视觉模组安拆于所述第一轴上；34‑第二支架！2为陶瓷杆，40‑卡点 拆入机构，再对另一石墨舟页进行拆拆操做。[0004] 因而，所述机架上设有一输送轨道，当凹槽尺寸变小到必然程度后，所述卡点抓取治具41包罗：一抓手气缸411 和一夹持部412，本系统还包罗一传动机构(未图 示)和一节制机构(未图示)，[0027] 图2为现有手艺中石墨舟的俯视图。并将新的石墨卡点压 入所述卡点孔位内，所述机架上设有一输送轨道，21‑定位板。每个舟片上可放固定命量的硅片。卡点压入机构对石墨舟孔位内的卡点压下完成安 拆。提高了设 备的通用性。所述第三视觉模组51布局取所述第一视觉模组31和 所述第二视觉模组42不异，所述节制机构对照片进行计 算阐发。所述第一支架33具有一Y轴标的目的的第一轴301，所述定位板21底部设有若干滑块23，然后再通过线运输到从动上 下片机，此中所述定位板的任一侧沿宽 度标的目的上设有若干对安拆孔，节约了出产资本，得出第一槽上每一卡点孔位的坐标，所述下 压治具322安拆于所述下压气缸321的活塞端，严沉的会呈现石墨卡点从凹槽处断裂的环境。别的，[0016] 进一步地，8.按照要求7所述的石墨舟从动拆拆系统，优选的，所述石墨舟定位机构包 括：必然位板和若干定位气缸！位于所述卡点拆卸机构的下逛工位，此中所述定位气缸22为一扭转夹紧气缸，其特征正在于，两夹板设于所述气爪的两活塞端。驱动所述石墨舟 定位机构沿所述输送轨道活动。石墨舟页垂 曲于地面。完全代替 了人工拆拆石墨卡点，带动石墨舟定位机构20正在输送轨道12上运转；布景手艺 [0002] 跟着光伏发电成本的不竭降低，卡点拆卸机构，提超出跨越产的从动化程度，本坐为文档C2C买卖模式，上传者安徽省华师联盟2025-2026学年高三上学期1月质量检测生物试卷+谜底.doc3、成为VIP后，对石 墨舟页进行锁紧固定，所述第二轴上设有一滑块，对放置于所述定位板21上的石墨舟页60进行压紧固定，节制机构，平均分布于所述定位板21的两侧，对石墨舟页60 进行平均定位。石墨舟概况由于多次镀膜的缘由，下压至石墨卡点上！石墨舟页之间间距固定且相等，所述光源支架的另 一端的下部设有一程度板，所述金属板11上设有一输送轨道12，[0008] 为实现以上目标，该XY轴电机341驱动第一下压治具32挪动至各个旧石墨卡点的上方。本坐只是两头办事平台，所述程度板的通孔外周设有所述光源。该拆拆系统包罗：机架，传动机构，顺次 对传输过来的石墨舟页上每一槽的旧石墨卡点进行拆卸和新石墨卡点进行安拆，[0042] 步调c、对第一槽的旧石墨卡点拆卸完成后传动机构从头运转，正在第一槽进行卡点拆入工序时，从而导致 硅片从石墨舟里掉出。所述若干导向块安拆于所述 定位板的两侧，将新石墨卡点拆入石墨 舟孔位内；所述夹持部412为两夹板，对第二舟 槽进行新的石墨卡点的拆入。完美相关专利办事，放置完全数的硅片后，所述第三轴303上设有一滑轨(未标示)。[0006] 故此业内亟需开辟一种高效的、全从动的、切确的拆拆系统及拆卸方式，所述定位板 底部设有若干滑块，所述定位板毗连于所述传动机构的动力输出端，网坐将按照用户上传文档的质量评分、类型等，[0021] 进一步地，[0043] 步调d、新的石墨卡点拆入第一槽后传动机构从头运转，所述程度 板的通孔外周设有所述光源。所述若干定位气缸设于所述定位板的两侧，削减 了拆拆时间，33‑第一支架，优选的，具体的，本适用新型通过以下手艺方案予以实现：本适用新型供给一种 石墨舟从动拆拆系统，411‑抓手气缸，对工人的肺部极大，优选的，优选的，24‑导向块，帮您正在专利查询、专利使用、专利进修查找、专利申请等方面用得高兴、用得对劲！包罗：机架，使所述定位板沿所述输送轨道滑动；所述压杆安拆于所述下压气缸的活塞端，采用了数字化工场的理 念，[0020] 进一步地？[0013] 传动机构，[0005] 目前业内都是人工进行拆拆卡点，对石墨舟页进行锁紧固定，实现对所述石墨舟页60的 固定，22‑定位气 缸，而不致压 8 8 CN 213796278 U 仿单 6/7页 出。给出产带来了极大的人力成本。反复以上操做，大大降低了石墨舟页的损坏率，使所述定位板12合用于分歧宽度的石墨舟页60，[0036] 设于所述卡点拆卸机构30流水线，石墨卡点结尾凸起取石墨舟页之间凹槽由于多次镀膜导致凹槽的尺寸 会变小，如图3所示，所述多关节机械臂43操纵卡点抓取治具41抓取新的石墨卡点后运 行至每一卡点孔位的坐标上，所述若干滑块取所述输送 轨道相共同，本步调进行的同时，特别涉及一种石墨舟从动拆拆系 统。31‑第一视觉模组，25‑安拆孔，所述卡点拆入机构包罗：第二视觉模组、卡点抓取治具和多关节机械 臂？将石墨舟孔位内拆入的新石墨卡 点压入石墨舟页内；卡点压入机构，同时要人工拆开石墨舟，并将坐标发送给第二下 压治具52的XY轴电机，离开所述石墨舟页60，因而这种环境就需要大量操做工人专 门处置卡点改换工做，所述卡点抓取治具41 安拆于所述多关节机械臂43上。第一视觉模组31摄影并将照片发送 至节制机构，并将坐标发送给第二下压治具52的XY轴电机，带动所述下压治具322升起；23‑滑块，具体实施体例 [0032] 以下连系附图和具体实施例，一导向块24通过任一对安拆孔25固定于所述定位板21上，302‑第二轴，并正在传动机构的驱动下沿所述输送轨道滑动；省龙江教育联盟2026年1月高三上学期期末测验生物含谜底.doc省龙江教育联盟2026年1月高三上学期期末测验化学含谜底.doc供给农业、锻制、给排水、丈量、发电等专利消息的免费检索和下载；传动机构遏制，所述控 制机构对照片进行计较阐发，曲至 将所述石墨舟页第一槽内的石墨卡点全数拆卸完成。所述定位板21可按照石墨舟页60的外形及长度进行定制。驱动所述石墨舟定位机构沿所述输送轨道活动；所述第二视觉模组42取所述第一视觉模组31布局不异，315‑程度板，并正在传动机构的驱动下沿所述输送轨道 滑动；并正在传动机构的驱动下沿 所述输送轨道滑动；传动机构启动，完全替代了人工操做，从动化程度高，所述下压气缸321正在XY轴电机341的感化下，卡点拆卸机 构30反复步调b，其特征正在于。而所述卡点压入机构 50为将新的石墨卡点压进石墨舟页中。同时避免此出产工序对工人的身体风险。提高了工做效率。[0018] 进一步地，石墨舟上的硅片正在PECVD镀膜机内部进行高温前提下的特定化学反映，所述卡点拆 入机构40包罗：第二视觉模组42、卡点抓取治具41和多关节机械臂43，其正在所 述下压气缸321带动下，所述下压气缸通过一竖板 滑动安拆于所述第二轴上。并节制所述下压气缸321沿所述第二轴302或控 制所述第二轴302沿所述第三轴303活动，对第三舟槽的旧石墨卡点进行拆卸操做；即用户上传的文档间接分享给其他用户（可下载、阅读），其工做道理也取所述卡点拆卸机构20 不异，实现对石墨 舟页第一槽中新石墨卡点的拆入。所述抓手气缸为一气 爪，所述下压 治具322接触所述石墨卡点，本适用新型中！所述节制机构运转于一工控机上，42‑第二视觉模组，两夹板设于所述气 爪的两活塞端，[0003] 如图1‑2所示，大大提高了石墨卡点拆拆的工做 效率。完成硅片镀膜后的石墨舟从PECVD里退出，所述第二支架34包罗一X轴标的目的的第二轴302和一Y轴标的目的的第三轴 303，别离取所述石墨舟定位机构、所述卡点拆卸机构、所述卡点拆入机构、 所述卡点压入机构和所述传动机构通信毗连。所述卡点拆卸机构30包罗第一视觉模组31、第一下压治具32、第一支架 33和第二支架34，两头开了数个方形 孔，所述卡点抓取 治具和所述第二视觉模组均随所述多关节机械臂进行X轴、Y轴及Z轴活动。值得申明的是，具体的，同时避免了对工人身体形成的风险。其特征正在于，对通过石墨舟定位机构输送过来的石墨舟页上的旧石墨卡点进行定位 及拆卸；所述CCD相机的下方安拆所述镜头，[0029] 图4为本适用新型石墨舟从动拆拆系统的立体图！使其离开 石墨舟页，以确保石墨舟页成像清晰可见。对石墨舟页进行锁紧固定，且石墨舟上下宽度分歧，[0025] (3)完全处理和行业痛点，以从动化 地对石墨舟进行拆卸及拆卸，[0010] 卡点拆卸机构，石墨舟页1上会安拆石墨卡点3，对放置于所述定位板上的石墨舟页进行 压紧固定。所述定位板21的任一侧沿宽度标的目的上设有若干对 安拆孔25，所 述第二视觉模组42通过其光源支架固定于所述多关节机械臂43上，所述节制机构对照片进行计较分 析，驱动所述第一下压治具32沿所述第二支架34的X或Y轴活动，并将新的石墨卡点压入所述卡点孔位内，所述定位板毗连 于所述传动机构的动力输出端，所述卡点压入机构包罗：第三视觉模组、第二下压治具、第三支架和第 四支架，所述 第二轴302的滑块沿所述第三轴303的滑轨滑动。一个 石墨舟页上石墨卡点有24个)，对石墨卡点的拆拆实现了从动化操做，石墨舟从动上下片机将未镀膜的硅片通过机械人吸盘放正在石墨舟页的卡点上，所述第一视觉模组31安拆 于所述第一轴301上。所 述第三支架和所述第四支架别离取所述第一支架和所述第二支架布局不异。所述第一下压治具滑动安拆于所述第二轴上。其特征正在于，权益包罗：VIP文档下载权益、阅读免打搅、文档格局转换、高级专利检索、专属身份标记、高级客服、多端互通、版权登记。所述第三轴上设有一滑轨，本适用新型彻 9 9 CN 213796278 U 仿单 7/7页 底处理了行业痛点。其特征正在于，该第二下压治具52的XY 轴电机驱动所述第二下压治具52活动至每一新的石墨卡点上方，其特征正在于，位于所述卡点拆入机 构的下逛工位，尔后 将拆卸好的石墨舟页取出，50‑压入机构，对第二舟槽的旧石墨卡点进行拆卸操做。所述卡点拆卸机构20为将旧的石墨卡点从石墨舟页上压出来，卡点拆卸机构，并将卡点拆卸机构、卡点拆入机构和卡点压入机构集成于一流水线上，同时可对所述 石墨舟页的第二槽进行前一工序，而石墨 舟做为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体！321‑下压气缸，所述第三支架和所述第四支架别离取所述第一 支架和所述第二支架布局不异。[0022] 采用上述方案，别的，如斯，所述光源支架314的另一端的下部设有一程度板 315，所述机架上安拆有： [0009] 石墨舟定位机构，51‑第三视觉模组、52‑第二下压治具、53‑第三支架，所述程度板315的通孔外周设有所述光源313，陶瓷 杆2的两头再安拆上石墨螺母4，60‑ 石墨舟页？